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德國MechOnics壓電式納米定位臺的結構通常包括壓電陶瓷作為驅動源,結合柔性鉸鏈機構實現X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸等多自由度的精密運動。MechOnics壓電式納米定位臺這種結構設計使得壓電納米定位臺具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點,配置高精度傳感器后,可實現納米級分辨率及定位精度。
查看詳細介紹德國MechOnics壓電式納米定位臺是一種基于壓電效應的高精度定位裝置,其工作原理主要依賴于壓電陶瓷材料的逆壓電效應。當對壓電陶瓷施加電場時,其內部原子結構發生微小形變,從而產生機械位移。這種位移可以被控制,以實現納米級別的運動控制和定位。
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