臭氧發生器由電源和安裝的由不銹鋼和聚四氟乙烯制成的電解池組成。電解臭氧發生器，用于對冷純凈水、INNOVATEC臭氧發生器高壓水和注射水儲存和分配系統進行連續或間斷消毒（系統保護）。臭氧直接由超純水產生。ELAG的設計可實現全自動、低維護且可靠的運行。電解臭氧生成了水中的高臭氧輸入和高臭氧濃度，INNOVATEC臭氧發生器而無復雜地經批準的工作氣體。INNOVATEC臭氧發生器程序信息可在現行 ISPE 指南“制藥用水系統臭氧消毒"中找到。臭氧發生器由電源和不銹鋼、純鈦、聚四氟乙烯制成的電解槽組成。CMGK -F系列注于低的臭氧輸出和濃度。INNOVATEC臭氧發生器有兩種性能水平可供選擇：0.05 g O 3 /h 和 0.5 g O 3 /h。當需要中等標稱濃度時，INNOVATEC臭氧發生器CMGL系列是正確的選擇。性能范圍為 5 至 100 g O 3 /h（標稱流量為 40 g O 3 /m3）。INNOVATEC臭氧發生器小的臭氧發生器，可集成到各種設備、儀器和系統概念中。臭氧微電池可以使用其兩個 G 3/8" 外螺紋擰入容器中或擰到管噴槍上。直接在使用點產生臭氧。
開發的CH+ 電池芯，與以前的版本相比，可以進一步延長使用壽命，是在存在硬度劑的情況下。這些電池可以在飲用水質量下使用，并且可以在 10 至 200 mA 的電流強度下運行，甚至在峰值電流下高。脈沖模式下的臭氧生成速率為 60 mg/h，可通過改變電流強度在幾秒鐘內進行調節。臭氧生產的小型化新的工藝工程選擇，可以將臭用作消毒劑，例如用于系統保護。CMG系列設備的性能范圍為 3 至 50 g O 3 /h，標稱濃度 100 g O 3 /m3。它們用于需要臭氧濃度達 >150 g O 3 /m3 的應用；即低操作氣流下的高濃度臭氧氣體。
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